EMICON SA

Dipl.-Phys.

René Dittrich

Geschäftsführer

Die EMICON SA Systeme Unserer Partnerfirma PLASUS GmbH sind speziell für die umfassende Prozessregelung und Qualitätssicherung von Plasmaprozessen in Industrieanlagen und Produktionslinien konzipiert. Durch die einzigartige Kombination zur Erfassung aller wesentlichen Prozessdaten in einem System in Echtzeit setzen sie weltweit Maßstäbe in der erfolgreichen Prozesskontrolle.

Wesentliche Hardwarekomponenten sowie zentrale Firmwarebausteine wurden von der IfU Diagnostic Systems GmbH entwickelt und gefertigt.

Warum EMICON SA?Warum EMICON SA?

EMICON SA Systeme stehen für präzise, zuverlässige Prozesskontrolle in Plasmaprozessen. Ob Sputtern, Ätzen oder HIPIMS – sie überwachen Stabilität, erkennen Verunreinigungen und ermöglichen ortsaufgelöste Messungen selbst auf großen Flächen. Mit 24/7 Stand-Alone-Betrieb, Sollwert- und PID-Regelfunktionen sowie Mehrkanalsystemen liefern sie maximale Kontrolle und Effizienz für Ihre Produktion, wobei das System mittels LAN oder Profibus/Profinet in eine vorhanden Anlagensteuerung eingebunden werden kann.

Applikationen

Prozessregelung von reaktiven Sputterprozessen (Gasfluss/Leistung)
Überwachung der Prozessstabilität
Endpunktbestimmung in Plasma-Ätzprozessen
Ionendichteregelung in HIPIMS-Prozessen
Erkennung und Überwachung von Plasmaverunreinigungen
Ortsaufgelöste Prozessüberwachung von großflächigen Anwendungen

Technische DatenTechnische Daten

Spektrometerkanäle:
Spektrale Auflösung:
Wellenlängenbreich:
Signalauflösung:
Integrationszeit:
Aufnahmerate:
Sensoreingänge:
Analoge Regelausgänge:
Digitale Ein- und Ausgänge:
Anschluss:
Feldbusse:
Stromversorgung:
Abmaße (BxHxT):
bis zu 8
1.5 nm
200 – 1100 nm
16 Bit
50 µs bis Sekunden
10 ms bis Minuten
0 – 10 Volt (2/4)
0 – 10 Volt (4/8)
TTL 5V / 24V (8/8)
LAN (TCP/IP)
Profibus, Profinet, EtherCAT, EtherNET/IP
24 VDC 2A
480 mm x 190 mm x 420 mm