Das Emissionsspektrometer AOS 4 ist ein robustes Spektrometer, das hervorragend für optische Untersuchungen an Plasmaprozessen und zur Prozesskontrolle in Forschung und Industrie geeignet ist.

» Das AOS 4 arbeitet – im Gegensatz zu klassischen Spektrometern (Prisma/Gitter) – auf der Basis
   eines durchstimmbaren akustooptischen Filters (AOTF).

» Dieses AOTF umfasst einen Spektralbereich von 250nm bis 800nm mit einer exzellenten spektralen
   Auflösung zwischen 0,05nm bei 250nm, und 0,5nm bei 800nm.

» Es wird eine Zeitauflösung von 5 ms je Spektralpunkt erreicht.

» Plasmapulse können optional mit einer Zeitauflösung von 20 ns gemessen werden.

Die Einkopplung des Lichtes erfolgt über einen Lichtwellenleiter. Das robuste 19’’ Gehäuse gestattet den Betrieb in Labor- und Industrieapplikationen. Für eine Plasmaprozesskontrolle bzw. –regelung wird optional ein Regelsignal aus optischen Messdaten errechnet und analog ausgegeben (0-10V).

Das AOS ist wahlweise mit einem Messkanal (AOS 4-1) oder 4 Messkanälen (AOS 4-4) ist in folgenden Varianten verfügbar. Für die Integration in bestehende Plasmaanlagen sowie andere optische Adaptionen sind weitere optische Komponenten und Spektroskopiezubehör erhältlich.

Die wesentlichen Anwendungsfelder für das AOS Spektrometer liegen im Bereich F&E für Untersuchungen an Gasentladungen, Entwicklung und Einrichtung von Plasmaprozessen, Entwicklung und Optimierung von Plasmaquellen sowie Überprüfung bzw. Fehlersuche an Plasmaanlagen.

» Magnetron-Entladung DC/MF/HPPMS

» RF-Entladung cw/gepulst

» µWellen-Entladung cw/gepulst

» Pulslaser-Ablation

» DC / MF Entladung

» Strahlplasmen bei Atmosphärendruck

Die Steuerung des AOS 4 erfolgt durch die Intellispec 5.2 Software von einem separat beizustellenden
PC / Laptop über eine USB-Schnittstelle.

Dabei werden folgende Messmodi unterstützt:

» Spektrum-Messung inkl. Peak- und Bibliothekssuche

» Chronogramm-Messung zur Prozessüberwachung von bis zu16 Wellenlängen mit Formeleditor zur
   Echtzeitendatenverarbeitung
» Pulsmessung zur Prozessdiagnostik von bis zu16 Wellenlängen mit einer Zeitauflösung
    von 20ns bis 10µs

» Pulsspektrum (Spektrum-Messung im Pulsbetrieb bei verschiedenen Pulsphasen)

» Pulschronogramm (Chronogramm-Messung im Pulsbetrieb bei verschiedenen Pulsphasen)

» Pulszeitspektrum (Pulsmessungen für jede Wellenlänge im ausgewählten Spektralbereich)

Weiterentwicklungen im Sinne des technischen Fortschritts vorbehalten.
Weitere Informationen können Sie gern über unser Kontaktformular erfragen.