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4. Workshop "Diagnostic systems for process monitoring"

Am 14. Oktober 2020 findet der 4. Workshop "Diagnostic systems for process monitoring" im Historischen Gasthaus „RÄUBERSCHÄNKE“ in 09569 Oederan/Sachsen statt.

Der Workshop bietet unter Einbeziehung bereits vorhandener wissenschaftlicher und unternehmerischer Aktivitäten und Kompetenzen eine Plattform für den Erfahrungsaustausch mit nationalen und europäischen Fachleuten.

Dieses Jahr stehen folgende Themen im Mittelpunkt der Referate:
  • Plasmadiagnostik
  • Prozessüberwachung/Prozesskontrolle
  • Optische Messverfahren
Freuen Sie sich auf spannende Vorträge, unter anderem von
  • Frau Dr. Friederike von Fragstein, Freudenberg Technology Innovation SE & Co. KG: tbdEinsatz diagnostischen Methoden bei der Entwicklung in der Oberflächentechnik
  • Herr Dr. Stephan Mändl, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V.: Time-resolved OES measurements during pulsed plasma processes
  • Herr Dr. Thomas Schütte, PLASUS GmbH : Controlling and securing ionization and stoichiometry of HIPIMS processes in production lines
  • Herr Mathias Müller, Robert Bosch GmbH : Ausgewählte spektroskopische Werkzeuge im Plasma-Anlagenbau bei Bosch
  • Herr Dr. Michael Zeuner, scia Systems GmbH: Prozessdiagnostik mittels Massenspektrometrie bei Ionenstrahlverfahren
  • Herr Marcel Melzer, TU Chemnitz Zentrum für Mikrotechnologien: Waferlevel-Sensorstruktur zur Messung der Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktion in Prozessplasmen
  • Herr Prof. Holger Kersten, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel: On the determination of the energy influx during plasma-surface processes
  • Herr Dr. Hagen Bartzsch, Fraunhofer-Institut FEP: Optical Emission Spectroscopy for the determination of plasma parameters in a magnetron sputter discharge
  • Herr Swen Marke, IfU Diagnostic Systems GmbH: Rapid point-of care readout system to quantify cytokines based on three-dimensional bottle microresonators
Eine Anmeldung telefonisch unter 037208/889-19 oder per Email ist erforderlich. Die Teilnahme am Workshop selbst ist kostenfrei. Im Gasthaus können auch Übernachtungen gebucht werden.
Wir freuen uns, Sie zu unserem Workshop begrüßen zu dürfen.

Ihre Ansprechpartnerin: Melanie Storll
Telefon: +49 37208 889-19

Die vorläufige Agenda steht nun zum Download bereit.